Oko naprowadzające dla MEMS

Problem: Aby upewnić się, że celują we właściwe części rogówki podczas zabiegu Lasik z korekcją wzroku, lekarze polegają na skanerze, który reaguje na ruchy oczu i przekierowuje impulsy laserowe. Dzisiejsze skanery kosztują tysiące dolarów i wciąż oferują mniej niż idealną precyzję.

Okrągłe lustra wyrzeźbione w krzemie są sterowane ruchami struktur grzebieniowych. (Dzięki uprzejmości Hyuck Choo)

Rozwiązanie: Na Uniwersytecie Kalifornijskim w Berkeley naukowcy z Laboratorium Mikrofabrykacji wykorzystali niedrogie techniki do zbudowania mikroskanera, który porusza się do 30 000 razy na sekundę, w porównaniu z 4000 razy na sekundę w przypadku technologii konwencjonalnej. Absolwenci Hyuck Choo i David Garmire wymyślili sposób na wycięcie jednego kawałka krzemu na dwie połączone ze sobą struktury przypominające grzebienie. Przyłożenie napięcia do jednego grzebienia powoduje ruch drugiego w górę lub w dół. Lusterko przymocowane do grzebieni przekierowuje wiązkę lasera. Chociaż napędy grzebieniowe są już stosowane w niektórych systemach mikroelektromechanicznych (MEMS), grzebienie musiały być zbudowane na oddzielnych płytkach krzemowych i zaklinowane razem ręcznie. Ponieważ nowe urządzenie jest łatwe w produkcji, nie jest to tylko krok naprzód, ale duży postęp, mówi Roger T. Howe, inżynier elektryk ze Stanford University, który wynalazł napęd grzebieniowy w latach 80. XX wieku. Choo mówi, że tę technologię można tanio zastosować w skanerach chirurgicznych i innych urządzeniach.

ukryć